科教儀器芯片制造中，這個(gè)儀器很重要

　

濕電子化學(xué)品指為微電子、光電子濕法工藝（主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、互聯(lián)等）制程中使用的各種電子化工材料。按用途可分為通用化學(xué)品（又稱超凈高純?cè)噭┖凸δ苄曰瘜W(xué)品（以光刻膠配套試劑為代表）。

其中超凈高純?cè)噭┬枨罅空急冗_(dá)88%，占比的依次是，硫酸、雙氧水、氨水、氫氟酸、異丙醇、硝酸以及磷酸；功能性化學(xué)品占比達(dá)12%，占比依次是，半導(dǎo)體用顯影液、刻蝕液、面板用顯影液、剝離液以及緩沖刻蝕液。

梅特勒托利多電位滴定儀在電子濕化學(xué)品中的應(yīng)用非常廣泛，以下精選部分典型應(yīng)用：

電位滴定儀

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通用濕電子化學(xué)品

硫酸鈰法測(cè)定雙氧水含量

雙氧水含量的滴定通常有高錳酸鉀法和硫酸鈰滴定法，由于硫酸鈰作為滴定液非常穩(wěn)定，可以直接配制而不用標(biāo)定就可以等到標(biāo)準(zhǔn)溶液，使用非常方便。

取0.1~0.5g雙氧水，加DI水至錐形瓶20mL刻度，加20mL 20%硫酸用0.1mol/L硫酸鈰標(biāo)液滴定,滴至終點(diǎn)。

雙氧水含量結(jié)果

采用高錳酸鉀法測(cè)定雙氧水含量，操作簡(jiǎn)單，檢測(cè)快速（3-5min），測(cè)定結(jié)果準(zhǔn)確，測(cè)定重復(fù)性相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差可控制在1%以內(nèi)。

儀器配置：電位滴定儀，DMi140-SC氧化還原電極，DV1010滴定管

其他通用化學(xué)品解決方案

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功能性濕電子化學(xué)品

顯影液-四甲基氫氧化銨測(cè)定

梅特勒托利多電位滴定儀可有效控制四甲基氫氧化銨的含量，方法參照SJ/T11636-2016 電子工業(yè)用顯影液中四甲基氫氧化銨的測(cè)定電位滴定法。

方法：精密稱取適量樣品（精確到0.0001g），置于滴定杯中，加入50mL去離子水，用0.1N鹽酸滴定液進(jìn)行滴定，以第一個(gè)等當(dāng)點(diǎn)計(jì)算四甲基氫氧化銨含量。

采用兩種方法對(duì)四甲基氫氧化銨的測(cè)定結(jié)果準(zhǔn)確，重復(fù)性好，最大絕對(duì)誤差均小于0.01%。

儀器配置：電位滴定儀，DGi111-SC/DGi115-SC酸堿滴定電極，DV1020滴定管。

緩沖刻蝕液-氟化銨和氫氟酸測(cè)定

緩沖刻蝕液主要用來刻蝕晶圓上深槽的SiO2氧化膜。氧化膜的腐蝕速度在溫度一定時(shí)，主要取決于腐蝕液的配比和SiO2參雜情況。采用梅特勒托利多電位滴定儀測(cè)定腐蝕液的配比，測(cè)定結(jié)果準(zhǔn)確，重復(fù)性良好。

精密稱取適量樣品，加入50ml水稀釋，用0.1mol/L氫氧化鈉進(jìn)行滴定，滴定過程中有兩個(gè)突躍，第一個(gè)突躍為HF的滴定終點(diǎn)，第二個(gè)突躍為氟化銨的滴定終點(diǎn)。

HF的pKa為3.45，NH4+的pKa為9.25，所以第一個(gè)突躍為HF的滴定終點(diǎn)，第二個(gè)突躍為NH4F的滴定終點(diǎn)。根據(jù)HF和NH4+解離平衡常數(shù)的區(qū)別，采用一步滴定即可測(cè)定HF和NH4F的濃度。

儀器配置：電位滴定儀，DGi111-SC/DGi115-SC酸堿滴定電極，DV1010滴定管

鋁刻蝕液-硝酸、磷酸、醋酸

三元混酸含量的滴定

方法一，主要應(yīng)用是鋁刻蝕液原料監(jiān)控：

刻鋁酸含量測(cè)定（4%HNO3、75%H3PO4、10%HAc）

滴定劑（0.2 M KOH-2-Isopronal）

溶劑：乙醇：丙二醇=1：1

儀器：電位滴定儀+DGi113-SC非水酸堿滴定電極

方法二，主要應(yīng)用是鋁刻蝕液生產(chǎn)槽監(jiān)控——分步滴定，原因：樣品在生產(chǎn)中帶入了鋁等其它離子會(huì)影響測(cè)定

第一步：利用氧化還原法，采用0.1N 硫酸亞鐵銨滴定HNO3

溶劑：硫酸-水（4：1）

第二步：利用酸堿滴定，采用0.5N NaOH滴定H3PO4 和 HAc

用飽和氯化鈉水溶液作溶劑：V1是硝酸+磷酸的第一個(gè)H，V2是HAc磷酸的第二個(gè)H

其他功能性濕電子化學(xué)品測(cè)定解決方案

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DispenSix全自動(dòng)取樣、在線滴定系統(tǒng)

在線分析系統(tǒng)所有化學(xué)分析部件均采用模塊化設(shè)計(jì)，分析模塊設(shè)計(jì)及材料選用完全耐腐的高性能材料如：玻璃, PTFE, PVDF 和 FEP。在實(shí)際運(yùn)用中，用戶可以根據(jù)檢測(cè)指標(biāo)進(jìn)行配置，并根據(jù)工廠生產(chǎn)要求自行設(shè)定最適宜的分析周期。自動(dòng)采集樣品和分析測(cè)定，分析過程結(jié)束后，儀器自動(dòng)用去離子水沖洗反應(yīng)杯，將分析結(jié)果顯示到儀器屏幕，并通過以太網(wǎng)將數(shù)據(jù)傳輸至中控室LabX軟件工作站。同時(shí)labX工作站還可以實(shí)現(xiàn)與LIMS、ERP等系統(tǒng)的數(shù)據(jù)對(duì)接，真正實(shí)現(xiàn)24小時(shí)無人值守的監(jiān)控。

全自動(dòng)高精度取樣單元Liquid Handler是一個(gè)有6個(gè)閥門的滴定管功能，可以精準(zhǔn)吸液、潰液和準(zhǔn)備，可在生產(chǎn)線上實(shí)時(shí)監(jiān)控槽液酸、堿、銅離子等含量。下面是Liquidhandler分別在線測(cè)定六價(jià)鉻的和在線測(cè)定鈾含量的方案，可見梅特勒托利多在線滴定系統(tǒng)的多元化。

模塊化的設(shè)計(jì)，任意零部件磨損或者老化可以進(jìn)行更換和維修，維修方便簡(jiǎn)單，經(jīng)過培訓(xùn)，客戶可以自己進(jìn)行更換和維修。

現(xiàn)今，中國(guó)已成為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng)。物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、人工智能等下一輪終端需求，為中國(guó)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造了新的機(jī)遇。我們?cè)陔娮訚窕瘜W(xué)品的應(yīng)用方法和案例非常豐富，可以提供多種解決方案。

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